中國國企量產自研DUV光刻機 今年目標出貨5台

中國國企量產自研DUV光刻機 今年目標出貨5台

中國一家國有半導體設備企業2026年7月27日被披露已開始小量生產自行研發的浸潤式深紫外線(DUV)光刻設備,今年的目標是出貨5台,到2027年則計劃生產20台。

Kiwoom證券研究員韓智英表示,中國產DUV出現強化了中國半導體企業追趕勢頭的預期,「中國記憶體企業擴產的可能性,加劇了對記憶體市場競爭加劇的擔憂」。

光刻設備是半導體生產的關鍵設備,根據光源分為DUV和極紫外線(EUV)。EUV由荷蘭ASML壟斷,中國自2019年起因美國出口管制無法取得EUV,便利用DUV生產先進半導體;2023年起美國更禁止浸潤式DUV出口,促使中國加速自行研發。

韓國業界認為市場擔憂超前,中國產DUV的良率與性能尚未驗證。浦項工科大學教授李炳勳指出,若中國產DUV站穩腳跟,將能增加通用記憶體產能,需為3至5年後做好準備。成均館大學教授權錫埈則認為,中國在2030年前提高通用半導體自給率是可行的。

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